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日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵

更新時間:2025-12-09

訪問量:1383

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
?可實現(xiàn)高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護(hù)周期可通過計時表控制。
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵


特點

  • 結(jié)構(gòu)緊湊,排氣量大。

  • 干式真空泵的最高壓力水平。

  • 內(nèi)置自動復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計。

  • 通過空氣沖洗抑制水分凝結(jié)。

用途

  • 分析設(shè)備

  • 氣體回收系統(tǒng)

  • 涂裝設(shè)備

  • TMP的背泵

  • 氦氣檢漏儀

  • 半導(dǎo)體制造工藝

日本ULVAC愛發(fā)科渦旋式干式真空泵

規(guī)格


Unit50Hz60Hz
設(shè)計排氣速度度※1
L/min90108
極限壓力
Pa (kPa)5.0
使用電動機(jī)※2

單相, 100/115/200/230V, 150W, 4P 電容器啟動?運転
全負(fù)荷電流
A2.6/1.3/1.6
(100/200/230V)
2.1/2.2/1.1/1.1
(100/115/200/230V)
重量
kg14.0
吸氣口徑

KF-25
排氣口徑

KF-16
使用環(huán)境溫度范圍
5~40
水蒸氣處理量
g/day≦5 以下 (AF開時※3, 室溫25℃, 濕度60%以下)
噪音水平
dB≦52 (AF開時※3, ≦57)
最大尺寸
mm214(W)×308(L)×225(H)



















※1:設(shè)計排氣速度時當(dāng)抽取大氣壓氣體時實際排氣速度的1.2倍。

※2:不包括電源插頭和電源線。
※3:AF = Air Flash
      空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水,而且還具有恢復(fù)極限力的效果。


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